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iH1800愛(ài)德華干式泵維修

更新時(shí)間:2024-07-04

簡(jiǎn)要描述:

iH1800愛(ài)德華干式泵維修Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 產(chǎn)品廠地:東莞市
  • 訪問(wèn)次數(shù):1510
品牌Edwards/英國(guó)愛(ài)德華輸送介質(zhì)其他
泵軸位置臥式葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子

iH1800愛(ài)德華干式泵維修

iH1800 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

A59040946

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度                 1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                 1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                 4 slm

進(jìn)氣口連接                 ISO160

出口連接                 NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入                 4.1 kW

電機(jī)額定功率                 7.0 kW

油容量                         1.6 l

 Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
 
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

東莞市鴻鑫真空設(shè)備有限公司專業(yè)維修愛(ài)德華干泵,愛(ài)德華半導(dǎo)體干泵,萊寶干泵,愛(ài)發(fā)科干泵,漢鐘干泵,卡西雅瑪干泵等干泵維修

東莞市鴻鑫真空設(shè)備有限公司集生產(chǎn)銷售、安裝設(shè)計(jì)、維修保養(yǎng)真空設(shè)備、真空氦檢漏儀及通用機(jī)械設(shè)備、精密機(jī)械及自動(dòng)化設(shè)備等產(chǎn)品的企業(yè)。公司主要銷售及維修真空泵品牌有:鴻鑫系列單雙級(jí)真空泵、鴻鑫螺桿及羅茨真空泵、德國(guó)LEYB0LD萊寶真空泵、德國(guó)BUSCH普旭真空泵、德國(guó)RIETSCHLE里其樂(lè)真空泵、德國(guó)BECKER貝克真空泵、英國(guó)EDWARDS愛(ài)德華真空泵、日本ULVAC愛(ài)發(fā)科真空泵、德PFEIFFER普發(fā)真空泵、日本ORION好利旺真空泵、ATLAS阿*真空泵、美國(guó)AGILENT安捷倫真空泵等進(jìn)口真空泵及真空系統(tǒng)。銷售真空泵配件:真空泵油、油霧分離器、排氣過(guò)濾器、葉片、碳精片、油過(guò)濾器、進(jìn)氣濾芯、空氣總成、散熱風(fēng)扇、風(fēng)扇葉、風(fēng)扇罩、真空泵油管、油封、軸承、軸套、排氣閥、逆止閥、氣鎮(zhèn)閥、視油鏡、密封套件、聯(lián)軸器、聯(lián)軸器墊等配件材。                                                 同時(shí)公司還經(jīng)營(yíng)電子材料:厭氧膠、SMT貼片膠、底部填充膠、COB灌封膠、LED固晶膠、陶瓷線路板灌封膠等           

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