普羅泰克PROTER檢驗(yàn)測(cè)量設(shè)備數(shù)字式測(cè)量機(jī)

普羅泰克PROTER檢驗(yàn)測(cè)量設(shè)備數(shù)字式測(cè)量機(jī)

主要標(biāo)準(zhǔn)特性

TDS-7060G是在面像處理自動(dòng)測(cè)定機(jī)成為主流的情況下，拋棄了繁雜的功能，作為重視符合使用者意愿的操作性的測(cè)定機(jī)逛生的。

必要且充分的測(cè)定模式群。操作方便的開(kāi)關(guān)，粗微動(dòng)手柄。測(cè)定デ-タ-がそのまま利用できる乜ミ才一卜機(jī)能。容易配合的靶材(電子線)。具有高精度和可靠性，主體軸承采用精密石定盤(pán)使用的天然石等，具有與高級(jí)機(jī)器不相上下的精度和再現(xiàn)性，具有自動(dòng)機(jī)無(wú)法得到的操作性。

。觸摸面板照明和聚焦系統(tǒng)·集合了變焦控制、預(yù)設(shè)位置移動(dòng)等操作。照明也可以與倍率連動(dòng)。

，大型尺寸的測(cè)定物にも對(duì)志外形寸法1000mm角厚さ40tまでのサイズに対。定范圍也可測(cè)定X方向700nm、Y方向600mm的寬范圍。可輕松應(yīng)對(duì)曲面掩模和大型基板

C

提作系統(tǒng)有完善的配置

朋·光學(xué)系·定位通過(guò)觸摸面板操作進(jìn)行簡(jiǎn)單操作。各軸的移動(dòng)可通過(guò)同服電機(jī)和閥同服單元進(jìn)行0.2pn的定位。此外，租動(dòng)作和微動(dòng)作可通過(guò)同軸手枘進(jìn)行無(wú)疲勞感操作，數(shù)據(jù)輸入開(kāi)關(guān)也可在手上操作，無(wú)需離開(kāi)手。另外，電腦畫(huà)面上面像顯示部顯示多功能電子線，雙圓、井、十字線的

破腺·可進(jìn)行實(shí)塊切換、腺寬股定、顏色定、角度定。

·內(nèi)藏同軸落射3種具有高度依賴(lài)性的照明·環(huán)式反射器標(biāo)準(zhǔn)配備3種追式透通LED照明系統(tǒng)。通過(guò)組合，將各種被攝體鮮明地表現(xiàn)出來(lái)。