玉崎科學(xué)ONYX 3200半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具

內(nèi)聯(lián)雙頭微點(diǎn) XRF
無損晶圓檢測(cè)和計(jì)量

雙 X 射線源（多毛細(xì)管/單色），

適用于最大 300 mm 的晶圓

產(chǎn)品型號(hào)：ONYX 3200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-09-29
訪問量：193

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Rigaku理學(xué)

單晶結(jié)構(gòu)分析半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備

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詳細(xì)介紹

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ONYX 3200 概述

ONYX 3200 是市場(chǎng)上先進(jìn)的混合測(cè)量解決方案。這款第二代雙頭工具結(jié)合了先進(jìn)的 μXRF 和光學(xué)技術(shù)，可在在線半導(dǎo)體制造中提供高精度的缺陷檢測(cè)和最高的吞吐量。

ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個(gè)制造過程中提供全面的計(jì)量方法。這包括適合先進(jìn)封裝和單凸點(diǎn)應(yīng)用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。

優(yōu)化源性能

用于過程監(jiān)控的單μbump測(cè)量
高產(chǎn)量和增加的吞吐量
準(zhǔn)確分析金屬厚度和成分
對(duì)層厚度和成分的最大敏感性

二維顯微鏡	二維顯微鏡放大倍數(shù)	3D掃描儀

ONYX 3200 特點(diǎn)

雙頭 μXRF 配置提供分析靈活性，實(shí)現(xiàn)最佳應(yīng)用性能

單色和多色 μXRF 光學(xué)系統(tǒng)

低功率X射線，無損分析

聚焦垂直激勵(lì)配置

通過排列四個(gè)硅漂移探測(cè)器（SDD）擴(kuò)大有效面積并提高分辨率

成分分析和膜厚測(cè)量

全自動(dòng)校準(zhǔn)過程提供長(zhǎng)期穩(wěn)定性、一致性和X射線管老化校正

實(shí)現(xiàn)亞微米精度的先進(jìn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

內(nèi)聯(lián) HVM 測(cè)量的理想選擇

ONYX 3200 規(guī)格

測(cè)量類型	雙頭微點(diǎn) EDXRF 和光學(xué)檢測(cè) (2D-3D)
晶圓尺寸	最大300mm
晶圓類型	毯子和圖案晶圓
導(dǎo)航	精密平臺(tái)輔以圖像識(shí)別算法，可快速亞微米導(dǎo)航至單個(gè)特征中心
微型 XRF 光束方向	正入射微點(diǎn) (μXRF)
光學(xué)系統(tǒng)	“多色"（X 射線光學(xué)）和顏色“單色"（X 射線光學(xué)）
微型 XRF 束斑尺寸	可調(diào)范圍為 10 至 50 µm
探測(cè)器類型	硅漂移探測(cè)器 (SDD)：3 種配置 1. 常規(guī) > Al 2. 輕元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（針對(duì) Ag、Sn 進(jìn)行了優(yōu)化）
DPP｜數(shù)字脈沖處理器	超過 100 萬光子/秒的高效率

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