日本ULVAC愛發(fā)科IH-860PSIC半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

產(chǎn)品型號：IH-860PSIC
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-11-25
訪問量：787

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CLASSIFICATION

ULVAC愛發(fā)科

愛發(fā)科真空泵熱處理設(shè)備離子注入機(jī) 蝕刻設(shè)備灰化裝置真空沉積設(shè)備化學(xué)氣相沉積設(shè)備濺射設(shè)備

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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機(jī)

SiC 高溫離子注入機(jī)IH-860PSIC

這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機(jī)。

特征

可自動連續(xù)高溫處理注入
可注入高達(dá) 350keV 的單價離子和 700keV 的雙電荷離子
（可選支持高達(dá) 430keV 的單價離子和 860keV 的雙電荷離子）
雙端站實現(xiàn)高吞吐量
（A系統(tǒng)4"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)3"高溫電調(diào)、A系統(tǒng)6"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)6"常溫電調(diào)等，規(guī)格可根據(jù)客戶需求訂做愿望）
可進(jìn)行鏈條注射，減輕操作員負(fù)擔(dān)
緊湊型設(shè)計
從原型到批量生產(chǎn)，我們提供廣泛的支持。

目的

SiC用離子注入機(jī)

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