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Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
簡要描述：

Osaka Vacuum大阪真空TG70F小型耐振動渦輪分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
特點(diǎn)：
H2最大壓縮比達(dá)到了105，適用于排放輕氣體
在高倍壓的情況下也可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，排氣性能安定
輔助泵可以使用隔膜泵，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的小型化以及減少成本！
擁有將電源控制器與分子泵一體化和電源口控制器與分子泵獨(dú)立化的兩種產(chǎn)品
360度任意角度安裝
耐振動，可移動正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵

  • 產(chǎn)品型號：TG70F
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2025-04-19
  • 訪  問  量：110

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵


  • H2最大壓縮比達(dá)到了105，適用于排放輕氣體

  • 在高倍壓的情況下也可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，排氣性能安定

  • 輔助泵可以使用隔膜泵，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的小型化以及減少成本！

  • 擁有將電源控制器與分子泵一體化和電源口控制器與分子泵獨(dú)立化的兩種產(chǎn)品

  • 360度任意角度安裝

  • 耐振動，可移動正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵

用途

  • 半導(dǎo)體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質(zhì)

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗(yàn)裝置

  • 管球制造，光學(xué)部件制造

  • 加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。


型式TG70F
吸氣口法蘭ISO-R63/CF63
排氣速度N2 (L/s)70/75
N2(保護(hù)金網(wǎng)付) (L/s)65/70
H2 (L/s)40/45
最大壓縮比N21×108
H21×105
極限壓力ISO-R(Pa/Torr)<5×10-7/<3.8×10-9
CF (Pa/Torr)<1×10-7/<7.5×10-10
最大氣體流量※1自然風(fēng)冷 N2 (sccm)1 0
強(qiáng)制風(fēng)冷 N2 (sccm)2 0
啟動時(shí)間(min) 2-2.5
停止時(shí)間(Pa/Torr)1200/9
推薦輔助泵(L/min)≧25
安裝角度自在
重量ISO-R/CF(kg) 3/5
控制器型號TC75（一體型）※2
輸入電壓（V）DC24V
所需最大電力（W)120W

※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：可選擇泵和控制器一體型(TC75)或者是分離式型(TC76)

[ 對應(yīng)氣體種類 ]

由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃




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