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產品型號：XRTmicron廠商性質：代理商更新時間：2024-09-29訪 問 量：418
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詳細介紹
玉崎科學半導體設備理學Rigaku高精度測角儀
玉崎科學半導體設備理學Rigaku高精度測角儀
該形貌測量系統(tǒng)通過采用新型高亮度微型射線光源、特殊的射線鏡面光學系統(tǒng)以及高分辨率、高分辨率的X射線相機，可以將測量時間縮短一個數(shù)量級與傳統(tǒng)方法相比。從樣品設置到測量的一切都可以自動完成。
它可以無損檢測晶體缺陷，例如位錯、表面穿透位錯以及外延層缺陷。適用于Si、SiC、GaN、Ge、GaAs、石英、LN、LT、藍寶石、金紅石、螢石等各種單晶材料。
用于透射形貌圖的Mo射線源和用于反射形貌圖的Cu射線源可以通過計算機控制進行切換。
使用多層膜平行光束準直器生成單色/平行光束。
高度平行的 X 射線束使我們能夠獲得對晶格畸變敏感的反射形貌。
您可以通過計算機輕松地在觀察晶體內部的透射形貌圖和觀察表面附近缺陷的反射形貌圖之間進行切換。
使用高分辨率 X 射線 CCD 相機采集數(shù)字圖像。
使用形貌圖像的晶體缺陷分析軟件。
兼容各種晶圓尺寸。兼容 3、4、6、8、12 和 18 英寸。
它可以水平放置樣品，還可以自動傳輸 3、4、6、8 和 12 英寸晶圓。
自動曲率校正機制甚至可以根據(jù)曲率程度拍攝彎曲的晶體。
| 產品名稱 | XRT微米 | |
|---|---|---|
| 方法 | 射線形貌成像 | |
| 目的 | 單晶材料的無損評價 | |
| 技術 | 在透射和反射形貌之間切換 | |
| 主要部件 | 高亮度微型X射線光源、專用X射線鏡光學系統(tǒng)、高分辨率/高分辨率X射線相機 | |
| 選項 | HR-XTOP 相機、晶體準直器、傳送帶、晶體缺陷軟件 | |
| 控制（電腦） | 外部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng) | |
| 機身尺寸 | 1800（寬）×1980（高）×1950（深）（毫米） | |
| 大量的 | 約2200公斤（本體） | |
| 電源要求 | 三相200V，15A | |
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